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罗茨真空泵配置前级泵应考虑哪些问题

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罗茨真空泵配置前级泵应考虑哪些问题

发布日期:2019-05-07 11:34 来源:http://houstongram.com 点击:

罗茨真空泵边锋游戏不能单独使用,必须配备了前级泵单元,舞台前沿真空泵的使用是减少根真空泵排气压力,因为根真空泵压缩比是有限的,所以舞台前沿真空泵抽速的选择是非常重要的。罗茨真空泵的最大压缩比随排出压力的变化而变化。在高排放压力下,最大压缩比可达3:1,最大压缩比为1 ~ 10mbar (1 mbar=0.75Torr),最大压缩比可达50:1,甚至更高。因此,选择前泵泵速时,要根据罗茨真空泵的长期工作压力范围来考虑。

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是选择前级泵时必须考虑的,极限真空度要求较高(可达1x10-3pa ~ 1x10- 2pa压力)一般选用双级旋片油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。最终真空度在(1x10- 2pa ~ 1x10-1pa)之间,单级油封机械泵可作为前级泵使用。当极限真空度在133 ~ 1333Pa之间时,可采用往复真空泵边锋游戏或液环真空泵作为前级泵。

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